硅与其他资料在集成电路中的比较

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2021
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硅与其他 。资料中半导体。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析 :

一 、根底特性比照。集成

资料 。带隙(eV)。比较电子迁移率(cm²/(V·s))。资料中热导率(W/(m·K))。集成击穿电场(MV/cm)。电路
‌。比较硅(Si) 。资料中‌。集成1.12 。电路1500。150。0.3 。
锗(Ge)。0.67。3900。60 。0.1 。
砷化镓(GaAs) 。1.42 。8500 。55。0.4 。
碳化硅(SiC) 。3.26。900 。490 。3.0 。
氮化镓。(GaN)。3.4 。2000 。130。3.3 。

二、中心优势范畴  。

‌。硅资料 。‌。

‌。干流逻辑芯片。‌ :全球95%的集成电路选用硅基制作,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10)、工艺老练(支撑3nm制程)14。

‌。集成度优势 。‌:硅晶圆直径可达300mm,单晶缺点率低于0.1/cm²  ,合适超大规模集成814 。

‌。氧化层特性。‌:天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是。MOSFET 。器材的抱负介质28  。

‌ 。化合物半导体 。‌。

‌。高频使用 。‌:砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍 ,适用于 。5G。毫米波(>30GHz)器材49。

‌ 。功率器材 。‌ :碳化硅击穿电场强度达硅的10倍  ,可使电动汽车 。逆变器。损耗下降70%112。

‌。光电 。转化。‌:磷化铟(InP)在光 。通讯 。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4 。

三、要害功能短板 。

‌。硅的局限性。‌。

禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911。

高频特性差(截止频率<100GHz),不合适太赫兹使用411。

‌。代替资料应战。‌。

‌。本钱问题 。‌ :6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12 。

‌。晶圆尺度。‌:氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸 ,约束产能提高12。

‌。工艺兼容性 。‌:砷化镓器材需特别生产线,与硅基产线不通用4。

四 、技能演进趋势 。

‌。混合集成。‌:硅基CMOS与氮化镓 。射频 。器材3D堆叠(如苹果5G射频模组)12 。

‌。异质外延 。‌ :在硅衬底上成长GaN薄膜以下降本钱(已完成200mm工艺)12 。

‌ 。量子核算 。‌:硅-28同位素自旋量子比特相干时刻打破1秒11 。

当时硅仍主导逻辑芯片商场 ,而第三代半导体在功率/射频范畴加快浸透 ,构成互补共存格式48 。

THE END
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